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お知らせ事項/アピール 【特徴】●大気圧・低温・プラズマ密度高●ダメ-ジフリ-●小型でAC100V電源に繋ぐだけ●非イオン・ラジカルプラズマ源・早い処理スピ-ド●多機能、化学的蒸着、PECVDも処理可能
本文 【概略仕様】 ●制御ボックス(RF電源・マッチングボックス・各種制御機能) 高さ19×幅54×奥行き50(cm) 重量25Kg ●ト-チ(プラズマ源)円筒型・角型・ペン型・チュ-ブ処理型等各種取揃 【用途・実績】 ● プラスチック、エンプラ、繊維、半導体、ガラス、金属部品、各種素材の表面処理 ● 表面改質、表面洗浄・表面の活性化・表面の無菌化・接着性改善・酸素物のエッチングのインラ